“一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法及装置”等10项专利技术转让
项目编号:Z20250131
挂牌价格
1,000.00 万元
标的类型
技术转让
点击数
0
信息披露起始日期 | 2025-06-18 |
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信息披露截止日期 | 2025-07-03 |
技术服务机构 | 机构名称:上海全国高校技术市场有限公司 | |
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项目经办人:刘小畅 | 联系方式:17340576020 |
交易机构 | 交易机构部门:交易部 | |
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交易机构业务负责人:朱思聪 | 交易机构联系方式:15900572944 |
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标的基本情况
项目名称 “一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法及装置”等10项专利技术转让 项目编号 Z20250131 项目类型 技术转让 交易专板 挂牌起始日 2025-06-18 挂牌截止日 2025-07-03 是否为技术成果组合 是 技术成果数量 10 标的名称 “一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法及装置”等10项专利技术 技术领域 电子信息 标的权证类型 其他
专利权、专利申请权权证编号 序号 名称 权证编号 申请日 授权日 失效日 1 一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法及装置 ZL201911180837.8 2019-11-27 2021-05-07 2039-11-27 2 磁浮导轨运动平台 ZL201910922776.1 2019-09-27 2023-02-03 2039-09-27 3 气浮运动台 ZL202010955162.6 2020-09-11 2024-03-01 2040-09-11 4 一种差分磁阻电机装置 ZL202111171609.1 2021-10-08 2022-08-05 2041-10-08 5 一种磁阻式二维扫描运动装置 ZL202210154347.6 2022-02-21 2023-10-03 2042-02-21 6 一种混合驱动微动台 ZL202210981688.0 2022-08-16 2024-11-19 2042-08-16 7 一种近零刚度微纳电机 CN202211443825.1 2022-11-18 8 一种紧凑式多轴精密运动台 CN202310137050.3 2023-02-20 9 一种无轴承弧形压电电机 CN202310139054.5 2023-02-20 10 一种尺蠖式压电电机 CN202310904799.6 2023-07-24 获得资助情况
(国家计划课题等)项目编号:2021YFF0704703 项目名称:超精密五轴真空工作台开发 项目阶段 研制 技术成熟度(TRL) TRL3 通过分析和实验研究.对应用设想进行物理验证。 样品/样机 无 是否有试用报告 否 项目简介 “一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法及装置”等10项专利技术转让,加速技术商业化,推动产学研深度对接,通过打通技术供给与产业需求,实现创新资源高效配置:降低企业创新成本、释放科研存量价值、加速技术落地,最终推动新质生产力发展与经济动能转换。
技术效果与指标 1)ZL201911180837.8一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法及装置:通过角锥棱镜和二维PSD传感器,解决了传统方法在长行程磁悬浮导轨悬浮间隙测量中磁场干扰和精度要求的问题,实现了高精度、低成本的测量效果。 2)ZL201910922776.1磁浮导轨运动平台:通过Z向重力补偿装置和永磁体的配合,实现悬浮和运动,解决了磁浮导轨在大载荷下的能量消耗和结构紧凑性问题,实现了大行程运动的功能。 3)ZL202010955162.6气浮运动台:通过磁浮组件磁浮预载提高气浮刚度,减少扰动,实现高精度和高速度的运动,降低了装调难度,增强了系统的稳定性。 4)ZL202111171609.1一种差分磁阻电机装置:通过在差分磁阻电机装置中使用柔性组件和磁弹簧组件的结合,提高负刚度补偿的可靠性,减小负刚度对电机的影响,增强控制系统的稳定性。 5)ZL202210154347.6一种磁阻式二维扫描运动装置:采用差分式的混合磁阻电机实现双向的出力和相对更好的线性度以实现二维运动,采用柔性结构、磁弹簧、气弹簧等方式对其负刚度进行导向和负刚度补偿,提高装置的稳定性和易控度。 6)ZL202210981688.0一种混合驱动微动台:通过结合混合磁阻电机、音圈电机和柔性结构,解决了现有技术微动台中加速度和精度不足的问题,降低了控制难度,并通过柔性结构避免摩擦对控制性能的影响及环境污染。 7)CN202211443825.1一种近零刚度微纳电机:通过欧拉屈曲梁-板簧柔性导向机构实现电机的运动导向,同时全行程补偿电机的负刚度,解决现有技术的高振动传递率和能量损耗问题,进而提高扫描运动精度极限和加速度极限。 8)CN202310137050.3一种紧凑式多轴精密运动台: 该专利的紧凑式多轴精密运动台在结构设计上具有创新性,通过合理的布局和结构设计,实现了结构紧凑、运动行程大、体积占用小、安装适应性强的特点。 9)CN202310139054.5一种无轴承弧形压电电机:通过多足尺蠖执行器优化布局,同时实现弧形电机的全行程弧度导向与驱动,且导向刚度更高、结构更紧凑。 10)CN202310904799.6一种尺蠖式压电电机:通过设计多个尺蠖式致动模块并形成串联结构,具有高精度、大出力、快响应有点,适合精密运动控制需求。 技术推广及应用前景效益(风险和效益) 1)ZL201911180837.8一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法及装置: 受测量方式限制,磁浮导轨间隙测量技术相对较少,该专利通过光学测量方式可提升磁浮性能预测与控制能力,且光学测量方式本身产业化技术相对成熟,可考虑产业化应用转化。 2)ZL201910922776.1磁浮导轨运动平台: 磁浮是一类高尖端无摩擦悬浮技术,可提供较大的悬浮空间,对平台加工一致性、平整度、粗糙度的要求低,悬浮过程鲁棒性较高,可在大部分运动平台中进行使用,可考虑产业化应用转化。 3)ZL202010955162.6气浮运动台: 气浮运动台在保持气浮无摩擦无接触的基础上,采用嵌套夹紧方式进行改进,该结构对平台位置与结构需求降低,应用面广泛,适用于大量气浮运动结构中,可考虑产业化应用转化。 4)ZL202111171609.1一种差分磁阻电机装置: 改进了磁路设计,成本效益显著,聚焦对成本敏感的领域,通过差异化技术路线,可考虑产业化应用转化。 5)ZL202210154347.6一种磁阻式二维扫描运动装置: 适用于工业自动化检测等高要求场景,无机械接触设计降低磨损,寿命长,该装置有望在精密制造与自动化领域形成规模化应用,可考虑产业化应用转化。 6)ZL202210981688.0一种混合驱动微动台: 多自由度磁阻电机目前市场产品较少,整体停留在单一自由度/方向运动结构中,所设计混合多自由度运动台具有多轴输出的领先技术优势,可考虑产业化应用转化。 7)CN202211443825.1一种近零刚度微纳电机: 相较于音圈电机具有更高的推力密度和推力效率,通过合理设计机构,可以进一步提升运动台的加速度,可考虑产业化应用转化。 8)CN202310137050.3一种紧凑式多轴精密运动台: 多轴精密运动台目前市场产品尺寸较大,不利于集中化装配,所设计运动台优势为紧凑布局,可适用于大量整机装备中,可考虑产业化应用转化。 9)CN202310139054.5一种无轴承弧形压电电机: 长行程弧形压电陶瓷电机产品相对短行程或直线压电陶瓷电机市场较少,目前整体仍采用磁力布局环境下,对于无磁低热且亚纳米等超高分辨率环境性能有不足,可考虑产业化应用转化。 10)CN202310904799.6一种尺蠖式压电电机: 尺蠖式压电陶瓷电机目前市场本土产品较少,且基本为国外产品,有望提升国产化率,可考虑产业化应用转化。 技术团队结构 技术团队名称 上海市超精密运动控制与检测工程研究中心 技术团队人数 10-50人 技术团队简介 复旦大学上海市超精密运动控制与检测工程研究中心成立于2019年,是上海市发改委首批省部级工程研究中心。中心面向国家重大需求,以半导体制造与检测装备开发为背景,开展人工智能检测方法、精密减振与振动抑制技术、超精密运动控制算法、高真空传输机械手技术、光学位移传感器与检测方法、压电陶瓷电机建模与控制等基础理论和工程应用的研究,取得创新性成果。中心在上海宝山、新江湾城湾谷拥有超2000平方米的研发和办公场地,为师生们创造国际一流的学习和科研环境。中心招收控制科学与工程、机械工程、电气工程、光学工程(激光)、精密仪器与测量等多学科的优秀学子,为集成电路装备领域培养复合式人才。 技术负责人姓名 杨晓峰 技术负责人联系方式 18616352935 技术团队负责人(附简历) 杨晓峰教授,复旦大学工研院、微电子学院双聘教授,博士生导师,上海市超精密运动控制与检测工程研究中心主任,国家02专项总体组专家,光刻机指挥部成员,国家“集成电路零部件产业技术创新联盟”副理事长。研究方向包括精密运动控制系统的先进控制方法、IC装备特种执行器和传感器技术、纳米精度多自由度运动台的系统设计和集成技术。主持多项国家和上海市重大科技项目,包括国家自然科学基金、国家重大科技专项02专项课题、上海市科委重大项目等。近几年在期刊和国际会议上发表论文20余多篇,申请发明专利22项。 技术评估内容 以下数据出自近期技术成果第三方评价报告(一年以内) 评估标的 复旦大学申报的6项发明专利所有权和4项发明专利申请权。 评估价值(万元) 1,000.00 评估机构 上海立信资产评估有限公司 技术评价报告摘要 经评估,复旦大学在评估基准日的6项发明专利所有权和4项发明专利申请权的含增值税市场价值为人民币1.000.00万元,大写人民币壹仟万元整
评估基准日 2024-12-31 评估方法 成本法 法律意见 无 重要信息披露 是否为职务发明创造 是 是否存在共有情况 否 -
转让方简况
转让方类型 法人 基本情况 法人名称 复旦大学 注册地(地址) 上海市杨浦区邯郸路220号 注册资本(万元) 168000.000000 企业类型 其他组织机构 -
交易条件与受让方资格条件
交易类型 转让 转让交易条件 交易金额 交易入门费/交易底价(万元) 1,000.00 是否包含产品销售分成 否 结算方式 场外结算 价款支付方式 一次性付款 付款要求 与交易相关的其他条件 面议
受让方资格条件 1、意向受让方应为依法设立并有效存续的境内企业法人、其他经济组织或具有完全民事行为能力的自然人。 2、意向受让方须财务状况良好、有信誉、有足够的支付能力。 3、接受联合方式举牌受让,不接受委托(含隐名委托)、信托举牌受让。 4、 意向受让方应符合国家法律、法规规定的其他条件。
保证金事项 是否交纳保证金 否 -
挂牌信息
信息发布公告期(工作日) 11 信息披露期满后,如未征集到意向受让方 延长信息披露:不变更信息披露内容,按照5个工作日为一个周期延长,直至征集到意向受让方。 信息发布期满,如征集到两个及以上符合条件的意向受让方组织交易方式 在线竞价 会同转让方审查意向方资格 否 -
转让方承诺
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公示附件